LCD ラッピング&ポリシング装備

この装備は断面機機能を追加して平面度を保証するためにヘッドの往復移送機能を附着した装備です. LCDシリコーンWafer, I.C. Photo mask, クリスタル, セラミックス, フェライト, フィルター油脂, ケージブロック, サファイアなどに適用可能で定盤を60゜まで回転させることができます.

 
  EGL-800 EGL-900 EGL-1000 EGL-1200
Lap plate size
(直径×厚さ)
(Dia.×thickness)
Φ800×30mm Φ900×50mm Φ1000×50mm Φ1200×55mm
加工物の最大大きさ
(Workpiece size)
400×400 500×500 550×550 650×650
Pressure plateの直径
(Dia of pressure plate)
Φ600 Φ750 Φ850 Φ1000
Pressure plate 調節 Stroke
(Adjusting Stroke Of Pressure Plate)
150 250 250 350
Oscillation Stroke for Pressure plate 320 450 450 600
ラッピング定盤回転数
(Lap plate RPM)
0~100 0~100 0~90 0~90
ラッピング定盤モーター
(Lap plate Motor)
3.7Kw 5.5Kw 5.5Kw 7.5Kw
Oscillation Shaft モーター
(Driving Motor For Oscillation Shaft)
2.2Kw 3.7Kw 3.7Kw 5.5Kw
機械大きさ(Dimension) 1900×1500×
1550mmH
1950×1650×
1800 mmH
200×1800×
1850 mmH
2100×2000×
1950 mmH
重量(Weight) 2100Kg 3300Kg 3650Kg 4550Kg
 
オプション品目: ダイヤモンドドレッサー(セリウムパッド用), スラリーポンプユニット